MEMSデバイス徹底入門 「つかう」「わかる」「つくる」マイ：田吉

MEMSデバイス徹底入門 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ／三田吉郎【3000円

　
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著者三田吉郎(著)出版社日刊工業新聞社発売日2018年08月ISBN9784526078712ページ数188PキーワードめむすでばいすてつていにゆうもんMEMS／でばいす メムスデバイステツテイニユウモンMEMS／デバイス みた よしお ミタ ヨシオ9784526078712内容紹介MEMS技術がひととおりわかる、MEMSを使ってみたい人のための入門書決定版。※本データはこの商品が発売された時点の情報です。目次第1章 MEMSを“つかう”（電子情報機器の用途—どこでもMEMSの時代/電子情報機器の仕組み—入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路/百聞は一見に如かず1—秋葉原で買ったMEMS大集合 ほか）/第2章 MEMSを“わかる”（百聞は一見に如かず2—ばね＋マス＝MEMS構造を理解する/MEMSが加速度を感じる仕組み—マスとばねとの力の釣り合い/重なり変化で変位を検知—くし歯静電容量による読み出しの原理 ほか）/第3章 MEMSを“つくる”（百聞は一見に如かず4—「実験用MEMS」で見るMEMS構造と製法/フォトリソグラフィ大研究—MEMSは「積んで、リソして、削って」作る/パターン

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